簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "林顯群".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="氣體噴注器"


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    渦流產生器應用於半導體製程管路系統之廢氣排除模擬分析
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生: 楊舜丞 指導教授:
    • 本研究探討渦流產生器應用於3吋垂直式的半導體廢氣排放管路,藉由CFD軟體Fluent執行流場模擬,將計算結果製作圖表以便觀察其流場缺失;並依動態光散射儀(Dynamic Light Scatteri…
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    • 全文公開日期 2025/02/07 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    垂直式爐管內氣體噴注器的噴霧均勻優化之數值模擬分析
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 蔡東嶧 指導教授:
    • 爐管為半導體產業常使用的製程設備,其良率為重要之技術指標,因此本研究針對垂直式爐管進行流場數值模擬,評估氣體噴注器的流量對於製程良率所產生的影響,藉由晶圓薄膜厚度之實測比對,找出氣體噴注器的出口流量…
    • 點閱:393下載:24
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